電容式傳感器是將被測(cè)的非電量變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的一類(lèi)傳感器,它廣泛應(yīng)用在壓力、濕度、溫度和加速度等測(cè)量中。隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計(jì)與加工技術(shù)的不斷進(jìn)步,已研制出包括微型壓力傳感器、濕度傳感器、加速度計(jì),化學(xué)和生物傳感器等產(chǎn)品。在國(guó)內(nèi),尚無(wú)成熟的電容傳感器接口集成電路投入市場(chǎng)。
     單片集成是MEMS傳感器發(fā)展的一個(gè)趨勢(shì)，將傳感器結(jié)構(gòu)和接口電路集成在一塊芯片上，使它具備標(biāo)準(zhǔn)IC工藝批量制造、適合大規(guī)模生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì)，在降低了生產(chǎn)成本的同時(shí)還減少了互連線尺寸，抑制了寄生效應(yīng)，提高了電路的性能。
     單片集成電容式壓力傳感器，傳感器電容結(jié)構(gòu)由多晶硅／柵氧／n阱硅構(gòu)成，并通過(guò)體硅腐蝕和陽(yáng)極鍵合等后處理工藝完成了電容結(jié)構(gòu)的釋放和腔的真空密封。接口電路基于電容一頻率轉(zhuǎn)化電路，該電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并通過(guò)“差頻”，消除了溫漂和工藝波動(dòng)的影響，具有較高的精度。